INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經(jīng)濟的規(guī)管中，測量壓強從2 10-6至1000毫巴(1.5 10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復性和再現(xiàn)性壓強測量，用于精確的濺射過程的壓強控制。HPG400皮拉尼真空計詳細資料優(yōu)點：極寬的測量范圍從5x10-10毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓)極好的重復性,過程壓強范圍10-8 10-2毫巴均為5%皮拉尼連鎖保護燈絲,防止過早燒毀雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲可選圖形顯示和現(xiàn)場總線接口自動高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預容易更換具有在機校準的傳感元件,保證高度重復性應用：半導體工藝和輸送室中的壓強測量工業(yè)鍍膜一般真空測量和控制,從低至超高真空范圍訂購資料型號HPG400WithoutLCDdisplayHPG400WithLCDdisplayHPG400-SPWithProfibusDP1）HPG400-SDWithDeviceNet1）DN25ISO-KF353-520353-521353-525353-527DN40CF-R353-522353-523353-526353-528更換傳感器25ISO-KF354-487354-487354-487354-487更換傳感器40CF-R354-488354-488354-488354-488