產(chǎn)品說(shuō)明：機(jī)型LSM500LSM-500NLSM501LSM-501NLSM503LSM-503NLSM506LSM506NLSM512LSM512N型號(hào)544-451544-461544-454544-464544-457544-467544-471544-481544-474544-484使用雷射可視光不可視光可視光不可視光可視光不可視光可視光不可視光可視光不可視光測(cè)量范圍0.005-2mm0.05-10mm0.3-30mm1-60mm1-120mm最小解析值0.01um0.01um0.02um0.05um0.1um重現(xiàn)性+0.06um+0.1um+0.08um+0.1um+0.3um+0.6um+2um直線性+0.3um+0.5um+2um+4um+8um位置誤差+0.5um+1.0um+2.5um+5um+10um測(cè)量領(lǐng)域1x2mm4x10mm10x30mm20x60mm30x20mm掃描頻率1600回/秒掃描速度38m/s57m/s113m/s226m/s452m/s使用溫度0oC-45oC