寬量程、高分辨率、適用于系統(tǒng)測試的電阻計廣范圍測量最低0.1 （20.00m ），最高110M 快速采樣,最快可達0.6ms(*根據(jù)設(shè)定條件的不同,會有差異)補正偏置電壓,用9451(Pt)/溫度探頭進行溫度補正功能運用4端子測量技術(shù),測試線接觸電阻可忽略不計具備統(tǒng)計、演算功能。若再另配選件的9670,可達到印字功能。