雙電測四探針測試儀 四探針測試儀 針測試儀 型號：GSZ-SDY-5 雙電測四探針測試儀采用了四探針雙位組合測量技術(shù),利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度 使用本儀器進(jìn)行測量時，由于不需要進(jìn)行幾何邊界條件和探針間距的修正，因而對各種形狀的薄膜材料及片狀材料有廣泛的適用性。儀器特別適用于測量片狀半導(dǎo)體材料電阻率以及硅擴(kuò)散層、離子注入層、異型外延層等半導(dǎo)體器件和液晶片導(dǎo)電膜、電熱膜等薄層(膜)的方塊電阻. 儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,特別采用了平面輕觸式開關(guān)設(shè)計和各種工作狀態(tài)LED指示.并應(yīng)用了微計算機(jī)技術(shù),利用GSZ-HQ-710F型微計算機(jī)作為專用測量控制及數(shù)據(jù)處理器,使得測量、計算、讀數(shù)更加直觀、快速，并能打印全部預(yù)置和測量數(shù)據(jù)。技術(shù)指標(biāo)：1、測量范圍：電阻率：0.001－200 .cm(可擴(kuò)展)薄層電阻:0.01-2000 /口(可擴(kuò)展)可測晶片厚度： 3.00mm2、恒流電源:電流分為100mA、1mA、10mA、100ma四檔；連續(xù)可調(diào)；穩(wěn)定度優(yōu)于0.3%3、數(shù)字電壓表：量程：0－199.99mV;分辨率：0.01mV精度： 0.1%顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示。極性、小數(shù)點、超量程自動顯示；4、模擬電路測試誤差：(用1、10、100、1000?精密電阻測量) 0.3% 1字;5、整機(jī)準(zhǔn)確度：(用0.01至180 .cm硅標(biāo)樣片測試) 4%6、專用微計算機(jī)功能：A鍵盤控制測量取數(shù)，自動控制電流換向和電流、電壓探針的變換，并進(jìn)行正、反向電流下的測量，顯示出平均值B鍵盤控制數(shù)據(jù)處理，按內(nèi)存公式計算出薄層電阻或電阻率平均值以及百分變化。C鍵盤控制打印全部測量數(shù)據(jù)。包括測量條件，各次測量平均值、最大值、最小值，百分變化等數(shù)據(jù)。7、外形尺寸：電氣主機(jī)：360mm 320mm 100mm；微計算機(jī)：300mm 210mm 105mm8、儀器重量：電氣主機(jī)：約4kg；測試架:約5kg;微計算機(jī):約2.5kg;9、電源：AC220V 10%,50Hz,功率 25W10、測試環(huán)境：溫度23 2℃；相對濕度 65％；無高頻干擾；無強(qiáng)光照射。