行程范圍：X軸------500mm Y軸------600mm Z軸------400mm 結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式傳動(dòng)方式：柔性同步齒型帶+預(yù)載荷高精度空氣軸承長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW（英國(guó)）開(kāi)放式光柵尺，分辨率為0.5 m機(jī)臺(tái)：高精度花崗巖平臺(tái) 使用環(huán)境：溫度(20 2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m 溫度變化1℃/h空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa空氣流量：100L/min 120L/min整機(jī)尺寸：1.0mX1.5mX2.0m機(jī)臺(tái)承重：600kg整機(jī)重量：900kg