特征★線性熱變形設(shè)計★三軸滾動導(dǎo)軌與花崗石氣浮導(dǎo)軌的選擇★隔震底箱設(shè)計技術(shù)★測頭各種測量姿態(tài)保證測端球心對中★專利技術(shù)實現(xiàn)手動測量路徑教學(xué)與測控自學(xué)習(xí)避障的矢量控制配置技術(shù)規(guī)格型號X(mm)Y(mm)Z(mm)11121-0.8-0.510008005001.5-1-0.5150010005002-1.5-12000150010002.5-2-1250020001000精度等級：A、B、C三級精度等級單軸精度(um)空間精度(um)R11自到A2+2L/10003+3.5L/10005B3+4L/10005+6L/10008C5+6L/100010+10L/100010