一、技術(shù)參數(shù)行程范圍：X軸------800mmY軸------1000mmZ軸------600mm結(jié)構(gòu)型式：活動橋式傳動方式：柔性齒同步帶+預(yù)載荷高精度空氣軸承長度測量系統(tǒng)：開放式光柵尺，分辨率為0.5 m機(jī)臺：高精度花崗巖平臺使用環(huán)境：溫度(20 2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m溫度變化1℃/h空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa空氣流量：100L/min 120L/min 整機(jī)尺寸：2.0mX1.5mX2.7m機(jī)臺承重：1000kg整機(jī)重量：2000kg探針測量系統(tǒng)： 1．控制軟件：SEREINDMISV2.02．操作方式：計(jì)算機(jī)自動控制＋微電腦操縱盒3．測量不確定度（E）：（3.0+L/300）二、機(jī)械特點(diǎn) 1．整機(jī)設(shè)計(jì)采用單邊活動橋式結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)緊湊，大幅降低了活動框架的重量，顯著提高了系統(tǒng)的運(yùn)動性能，確保了測量精度及穩(wěn)定性。 2．三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，保證測量過程中良好的溫度穩(wěn)定性及剛性。 3．三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承，運(yùn)動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損。 4．長度測量系統(tǒng)采用英國RENISHAW的自粘開放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數(shù)接近，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性。5．控制系統(tǒng)采用英國RENISHAW的UCCLITE高速高精度自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制。