參數(shù)說(shuō)明:１、00級(jí)高穩(wěn)定性花崗石底座?！。病⒉扇∪鹗縏ESA專利光學(xué)讀值測(cè)量系統(tǒng)。?。?、YR-3T多功能影像、探針互鎖量測(cè)軟件?！。础⑴_(tái)灣制高耐磨Ｖ型導(dǎo)軌。量測(cè)行程：X軸600mm，Y軸400mm，Z軸300mm　　線性精度：(3+L/200)um　　重復(fù)精度：3um　　最小顯示位數(shù)：0.001mm　　系統(tǒng)最小解析度：0.0001 量測(cè)方式：　?。薄⒂跋袷剑结樖健　。?、進(jìn)口高清晰度彩色攝像機(jī)　?。?、臺(tái)灣制0.7-4.5Zoom變焦鏡頭　倍率變化：30X-220X　?。?、瑞士TESA測(cè)頭：￠2、￠3mm　?。怠⒐ぷ骶嚯x范圍：115mm(影像)　?。?、世界名牌電腦：DELL/PC機(jī)/17”純平電腦　量測(cè)軟體：YR-3T　工作溫度：20±1℃　操作溫度：13-35℃　是否符合電磁兼容實(shí)驗(yàn)：OK　機(jī)臺(tái)重量：200Kg　工作電壓：220V測(cè)頭：　單一方向重復(fù)精度：≤0.75um　測(cè)頭壓力調(diào)整：0.1-0.3N　螺牙:M2-M3　測(cè)針廷長(zhǎng)桿材料:不銹鋼或是鎢鋼