Function8106型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)基本技術(shù)參數(shù)行程：X軸800mmY軸1000mmZ軸600mm結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng)+預(yù)載荷高精度空氣軸承長度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5 m機(jī)臺(tái)：高精度花崗巖平臺(tái)使用環(huán)境：溫度(20 2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m，溫度變化1℃/h空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa空氣流量：120L/min-