技術(shù)參數(shù)：垂直測(cè)量范圍 27mm垂直分辨率 2nm X-Y掃描速度 20mm/s 橫向X-Y軸分辨率 0.1 m 掃描范圍（XYZ） 150x150x60mm 其他信息：產(chǎn)品特點(diǎn)：適于測(cè)量較大樣品與拓展測(cè)量應(yīng)用采用補(bǔ)償相機(jī)，可在測(cè)量前進(jìn)行測(cè)量區(qū)域定位用于替代探針式輪廓儀和激光輪廓儀可選360度旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)采用NANOVEAPRVision軟件實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位測(cè)量采用白光軸向色像差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的垂直分辨率測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，精確度高不受環(huán)境光的影響不受樣品反射率的影響適合測(cè)量高坡度(85度)的表面樣品無(wú)需特殊處理Z方向最大測(cè)量范圍為27mm測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、半透明、低反射率、拋光、粗糙材料（金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒...）