設(shè)計特點 壓電式控制閥 金屬密封結(jié)構(gòu) 響應(yīng)時間快 設(shè)計緊湊 316L/316SS不銹鋼結(jié)構(gòu) 高精度達 1％P2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計用于要求對小流量液體進行快速、精確控制的領(lǐng)域。其簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。獨特的熱式測量系統(tǒng)提供精確的測量，同時液體溫度上升小于5度。高級的控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體進行快速、穩(wěn)定的控制。P2000i系列同時也包括有一個液體質(zhì)量流量計，用于那些不需要進行流量控制的場合。D2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計用于要求對液體快速、精確控制的半導(dǎo)體制造工藝。數(shù)字控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應(yīng)時間小于1秒。潔凈空間內(nèi)的裝配工藝和全金屬密封結(jié)構(gòu)確保（高純度和泄漏完整性）。獨特的層流旁路和傳感器部件提供精確的測量，同時液體溫度僅上升5度，此外，D2000i的簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。液體流量計和控制器技術(shù)參數(shù)流量范圍：P2000i系列和D2000i系列液體流量控制器是以異丙醇（IPA）來標(biāo)定的，在測量其它液體介質(zhì)時需要乘以一個校正系數(shù)，具體請參考表一響應(yīng)時間：P2000i系列：2s（設(shè)定點的2％之內(nèi)）D2000i系列：＜1s（流量的5％之內(nèi)）精度和線性： 1％滿量程（P2000i系列）； 1％讀數(shù)（D2000i系列）重復(fù)性：P2000i系列：＜ 0.2％滿量程（任意連續(xù)溫度下）D2000i系列：＜ 0.2％讀數(shù)量程比：P2000i系列：50：1（2％-100％滿量程）D2000i系列：20：1（5％-100％滿量程）最大操作溫度：40℃（104℉）最大操作壓力：125PSIG溫度系數(shù)：＜0.1％/℃ 設(shè)定點輸入/流量輸出信號：0-5VDC/0-5VDC（輸出流量信號時：需最小2K 電阻）供電電源：﹢15VDC 10％（電流消耗＜200mADC時）泄露率：1х10-9atm.cc/sHe預(yù)熱時間：10分鐘（P2000i系列）；20分鐘（D2000i系列）電氣連接：9針D型入口/出口過程連接：1/8 MaleVCR或1/8 Swagelok控制閥：壓電式常開內(nèi)置容積：＜0.71ml（P2000i系列）；＜1ml（D2000i系列）重量： 0.68Kg