1，新一代 MFC壓力不敏感質(zhì)量流量控制器在功能和性能上都進行了改進，使得半導(dǎo)體和高純薄膜用戶能進一步增加他們設(shè)備的產(chǎn)額。2，通過一個先進的數(shù)字算法，似的控制器對上游和下游的壓力擾動不敏感，實現(xiàn)了精確的實時流量控制。3，與通?；赑ID的數(shù)字MFC相比，他由于能實現(xiàn)工藝氣體流量的實時控制而極大地提高了控制精度，具有更好的工藝腔室匹配性。4，集成的壓力傳感器和其LED顯示可減少所需一個氣體stick的組成數(shù)目，基于網(wǎng)絡(luò)的瀏覽器界面使客戶可以實時地進行控制器的設(shè)置和故障排除，從而減少了對 無故障 MFC的替換并且無需中斷工藝氣體輸送。