產(chǎn)品介紹YK-ERT.系列微小流量流量計是一種采用渦輪原理設(shè)計專門測量微小流量的專用流量計,它具有極高的精度,特別是在高溫和高壓的條件下也是如此。電子脈沖發(fā)生器也集成在流量計內(nèi),在長期連續(xù)工作的條件下也能保持 1%的精度和 0.25%的重復(fù)性。由于靈巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計,在工作時不會形成沉淀,所以儀表的工作完成是 潔凈 的。因此,即使是極為苛刻的要求,例如半導(dǎo)體集成電路和芯片的生產(chǎn)流程中使用的刻蝕劑,具有極強的耐腐蝕性,并如有一個極微小的顆粒落下,也會使芯片成為廢品,這些NU.ER.T.產(chǎn)品都能滿足。