MFC是新一代壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器。實(shí)時(shí)高精度流量控制是基于先進(jìn)的數(shù)字算法技術(shù)，能有效地避免因壓力波動(dòng)而造成的流量不穩(wěn)。 MFC廣泛地應(yīng)用于諸如半導(dǎo)體和薄膜生產(chǎn)工藝等高精度、高純度氣體系統(tǒng)。 MFC集成了壓力傳感器并能顯示壓力等讀數(shù)，各種模擬和數(shù)字通訊可選。 MFC壓力不敏感質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從10-50000sccm. MFC低壓質(zhì)量流量控制器，滿量范圍從2-50sccm.