設(shè)計(jì)特點(diǎn) 熱式原理 一體化設(shè)計(jì) 滿量程從5SCCM到1000SLPM 響應(yīng)時(shí)間不超過2秒鐘 操作壓力可達(dá)20MPa 對(duì)安裝位置不敏感 316SS材質(zhì)，允許測(cè)量腐蝕性氣體 無直管段安裝要求 單電源供電技術(shù)參數(shù)流量范圍：從0-5SCCM到0-1000SLPMN2，具體請(qǐng)參考表一響應(yīng)時(shí)間：1～2秒精度： 1%滿量程（除204A型）；--------- 1.5%滿量程（204A型）重復(fù)性： 0.2%滿量程量程比：50:1（2%-100%滿量程）環(huán)境和操作溫度：-10～70℃最大操作壓力：3000PSIG（20MPa），具體請(qǐng)參考表一零點(diǎn)漂移： 0.05%滿量程/℃范圍漂移： 0.05%讀數(shù)/℃壓力漂移：0.1%/atm（相對(duì)于N2）安裝方向：對(duì)位置不敏感預(yù)熱時(shí)間：10分鐘電氣連接：卡式（20針）或D型（9針）設(shè)定點(diǎn)輸入流量信號(hào)輸出：0-5VDC/0-5VDC（最小負(fù)載電阻2K ）；-------------------------0-10VDC/0-10VDC（最小負(fù)載電阻3K ）；-------------------------1-5VDC/1-5VDC（最小負(fù)載電阻2K ）；-------------------------4-20mA/4-20mA（請(qǐng)參考下面的說明）；-------------------------1-5VDC/4-20mA（請(qǐng)參考下面的說明）對(duì)于流量信號(hào)輸出為4-20mA的負(fù)載電阻：環(huán)路電壓為6.5-15VDC時(shí)：0-450 環(huán)路電壓為15-30VDC時(shí)：200-750 供應(yīng)電源：電壓輸出：＋12( 5％)（僅適用于0-5VDC和1-5VDC流量信號(hào)輸出）或+15( 10％)VDC電流輸出：＋15( 5％)或+24( 15％)VDC電流消耗：＜250mAdc重量：請(qǐng)參考表一結(jié)構(gòu)材質(zhì);主體：316SS傳感器組件：316LSS孔：316SS閥構(gòu)成部件（接液）：302SS，316SS，430FSS，Sandvik?1802（除202、221、222和251型）；302SS，316SS，Sandvik?1802（202、221、222和251型）密封材質(zhì)（ O 型環(huán)和閥座）：BunaN，EPDM，Kalrez，Neoprene，Viton（除202A、203A和204A型）；BunaN，Viton（202A、203A和204A型）過程連接：316SS