日本新宇宙COSMOSXP-703D（自動(dòng)吸引式）半導(dǎo)體特氣檢漏儀簡(jiǎn)介:--最適合于檢測(cè)半導(dǎo)體特氣的微量泄漏--采用聲光報(bào)警日本新宇宙COSMOSXP-703D（自動(dòng)吸引式）半導(dǎo)體特氣檢漏儀技術(shù)參數(shù):檢測(cè)對(duì)象氣體半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）檢測(cè)原理熱線型半導(dǎo)體式采樣方式自動(dòng)吸引式可檢測(cè)濃度（單位：ppm）砷烷、磷烷、乙硼烷、硅烷、氫氣AsH3、PH3、B2H6、SiH4、H20.2、0.3、0.1、0.5、1.0檢測(cè)表示蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍應(yīng)答速度10秒以內(nèi)