產(chǎn)品概述:FS4000是美國矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司采用世界領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍最大到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍最大到50SLPM；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等產(chǎn)品特點(diǎn): -專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計(jì) -支持多種連接方式，易于安裝與使用 -傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量 -在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高 -輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓 -零點(diǎn)穩(wěn)定度高 -全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性 -低功耗、低壓損 -響應(yīng)速度快 機(jī)械尺寸:產(chǎn)品特點(diǎn):性能參數(shù)FS4003FS4008單位通徑38mm最大流量2,3,4,510,20,30,40,50SLPM量程比100:1 精度 (1.5+0.2FS)%重復(fù)性0.75%零點(diǎn)輸出飄移 30mV輸出飄移0.12%/oC響應(yīng)時(shí)間100ms工作電源8~18Vdc,100mA 輸出方式線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc 最大流量壓損100600pa最大工作壓力0.5MPa工作溫度-10~+55oC存儲(chǔ)溫度-20~+65oC工作濕度 95%RH（無結(jié)冰、無凝露） 機(jī)械接口BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 校準(zhǔn)方式空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa 重量57（帶R1/4,BSPT1/4接口）71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)g