CS-LAS單軸加速度計(jì)1、 簡介 CS-LAS系列加速度計(jì)由西安中星測控有限公司自行研制,用于測量加速度的傳感器。它采用進(jìn)口高精度MEMS-IC芯片,具有BIMOS信號限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求,制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性,并具有自檢測(Self-Test)功能,可實(shí)現(xiàn)BIT(Built-In-Test)檢測。 本產(chǎn)品可用于汽車測控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗(yàn)臺加速度的測量等系統(tǒng)中。2、 原理 CS-LAS系列加速度計(jì)是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多晶硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu),并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動質(zhì)塊相連的中央板形成的差動電容器機(jī)構(gòu)來測量比例于加速度的多晶硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn),從而產(chǎn)生電壓輸出信號。3、技術(shù)條件3.1 型號 CS-LAS 3.2 供電3.2.1 供電電壓 5 0.25 VDC3.2.2 輸入電流 2mA3.3 性能3.3.1 測量范圍 1 g 3.3.2 零g偏置電壓 2.5 0.1V3.3.3 輸出靈敏度 1000 20 mV/g 3.3.4 非線性度 0.2%FS3.3.5 分辨率 1mg3.3.6 帶寬 80Hz3.3.7啟動時(shí)間 10ms3.4工作環(huán)境3.4.1使用溫度 -40~+85℃ 3.4.2耐加速度3.4.2.1任意軸,不供電,0.5ms 1000g3.4.2.2任意軸,供電,0.5ms 500g3.5重量體積3.5.1重量 ﹤40g3.5.2體積 28 28 14.8 mm34、引出線定義引出線顏色紅色線黑色線藍(lán)色線屏蔽線信號定義電源正電源地和輸出地信號輸出殼體地5、外形尺寸