米銥Micro-Epsilon激光三角反射系列精密位移傳感器，是利用了激光三角反射原理：由傳感器探頭發(fā)射出的激光，通過特殊的透鏡被匯聚成一個直徑極小的光束，此光束被測量表面漫反射到一個分辨率極高的CCD探測器上，通過CCD所感應(yīng)到光束位置的不同，可精確測量被測物體位置的變化。　　米銥Micro-Epsilon三角反射系列激光位移傳感器的信號處理，采用了全數(shù)字技術(shù)的DSP信號處理器，使其具有高頻響高精度的特性。 傳感器 測量系統(tǒng) optoNCDT1401/1700光電集成一體化CCD數(shù)字精密位移傳感器，無外接控制器。optoNCDT1607/1627高頻響精密位移傳感器，采用PSD模擬技術(shù)。 optoNCDT1800/2200超高精度高頻響智能位移測量系統(tǒng)，采用高分辨率CCD及DSP全數(shù)字技術(shù)。