磷化氫（PH3）傳感器7PH3-2000 特性指標(biāo)正常檢測范圍 0-2000ppm靈敏度 0.07 0.04 A/ppm底電流（20oC） 0.4 A基線漂移(-20~50oC) 相當(dāng)于0~10ppmPH3分辨率 1ppm響應(yīng)時間(T90) 60秒線性度 線性長期穩(wěn)定性 2%信號值/月 工作條件工作溫度 -20~50oC工作濕度 15~90%RH（無冷凝）工作壓力 91~111kPa偏壓 0mV儲存時間 6個月儲存溫度 0~20oC使用壽命 2年質(zhì)保期 交貨后12個月