簡介：FS3000系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)流量傳感器芯片制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可以用于各類管徑，成本低，易安裝，不需要溫度壓力補償，可替代容積或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器產(chǎn)品特點:響應(yīng)時間快傳感器芯片采用熱質(zhì)量計量無需要溫度補償，保證了傳感器的高進度計量線性模擬電壓輸出零點穩(wěn)定度高全量程高穩(wěn)定性全量程高精度和優(yōu)良的重復(fù)性FS3003通徑3mm最大流量0～30SLPM量程比50:1精度 (205+0.8FS)%重復(fù)性 2%零點輸出飄移 30mV輸出飄移0.2%/oC響應(yīng)時間50ms工作電源8~18Vdc,50mA輸出方式線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc最大流量壓損2.4Kpa最大工作壓力0.2MPa工作溫度-10~+55oC存儲溫度-20~+65oC工作濕度 95%RH（無結(jié)冰、無凝露）機械接口可拆式軟管接頭NPT1/4校準方式氮氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa重量15FS3008通徑8mm最大流量0～200SLPM量程比50:1精度 (205+0.8FS)%重復(fù)性 2%零點輸出飄移 30mV輸出飄移0.2%/oC響應(yīng)時間50ms工作電源8~18Vdc,50mA輸出方式線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc最大流量壓損2.9Kpa最大工作壓力0.2MPa工作溫度-10~+55oC存儲溫度-20~+65oC工作濕度 95%RH（無結(jié)冰、無凝露）機械接口可拆式軟管接頭NPT1/4校準方式氮氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa重量23