濕式真空系統(tǒng)普遍選用液環(huán)泵或液環(huán)羅茨真空泵組。液環(huán)泵的密封冷卻液在運行中會溶解或吸收部分有機溶媒，在氣液分離器中分成廢氣和高濃度有機廢水(或廢液)，這兩部分都需要處理。針對濕式真空泵運行原理和有機溶劑的特性，有多種濕式干燥真空系統(tǒng)(流程見圖2)，各系統(tǒng)的特點如下：

　　(1)泵前冷凝溶劑型

　　在泵前加冷凝器或冷阱，回收部分溶劑。優(yōu)點：回收了部分溶劑，提高了真空系統(tǒng)效率。缺點：需要配置深冷或冷阱，投資和運行成本高。

　　(2)廢水直排型

　　泵前、泵后沒有處理，廢水直排污水處理裝置或委外處理。缺點：污水處理負荷大，耗水量大，成本高。

　　(3)廢水循環(huán)型

　　密封液冷卻循環(huán)使用，定期處理溶解飽和的廢液。優(yōu)點：耗水量降低。缺點：液環(huán)泵會出現氣蝕現象和效率降低現象，廢液處理成本高。

　　(4)泵后回收溶劑型

　　對廢液進行蒸餾或膜分離回收溶媒，廢液冷卻循環(huán)再用。優(yōu)點：回收大部分溶劑。缺點：回收系統(tǒng)占地面積大、能耗高(尤其是蒸餾回收)、投資和運行成本高。

　　從上述分析看出，雖然設計了多種濕式真空系統(tǒng)，以期回收溶劑，減少污染排放，但效果不佳。這是由溶媒特性和濕式真空泵本身特點所決定的，只有使用干式真空泵系統(tǒng)和配套的冷凝回收系統(tǒng)，才能徹底解決這個問題。

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