性能特點 l用途 1）WX40系列為最新型FPD檢查顯微鏡，專為LCD行業(yè) / TFT玻璃 / COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查 2）WX40系列機(jī)型采用4寸、6寸平臺設(shè)計，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查 l特點 1）WX40系列，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美 2）WX40系列機(jī)型采用全新設(shè)計的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長壽命LED光源 3）多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗需要，可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察 技術(shù)參數(shù) （以下參數(shù)根據(jù)客戶實際需求配置） 配 置 參 數(shù) 光學(xué)系統(tǒng) 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) 觀察方法 明場 / 斜照明 / 偏振光 / DIC 觀 察 筒 30 鉸鏈?zhǔn)饺?，分光比，雙目：三目=100：0或50：50 目 鏡 PL10X/22平場高眼點目鏡 轉(zhuǎn) 換 器 5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 物 鏡 無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm 無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡10X LMPL10X/0.30 WD10mm 無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡20X LMPL20X/0.45 WD4mm 無限遠(yuǎn)長工作距平場半復(fù)消金相物鏡50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm 無限遠(yuǎn)長工作距平場半復(fù)消金相物鏡100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm 調(diào)焦機(jī)構(gòu) 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 載 物 臺 4寸雙層機(jī)械移動平臺，行程105X105mm，帶金屬平板平臺，右手位X、Y移動手輪 6寸三層機(jī)械移動平臺，行程158X158mm，玻璃工作臺，右手位X、Y移動手輪，帶離合器手柄，可快速移動（選配） 另可選配：8寸移動平臺 照明系統(tǒng) 反射：帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿；單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)； 透射：單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)；帶可變孔徑光闌 可選配鹵素光源照明 偏光附件 檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 CTV接口 1X、1/2X （WX40系列配置6寸移動平臺實物照片）