產(chǎn)品用途：本機(jī)主要用于壓電陶瓷、化合物半導(dǎo)體、硅單晶、磁性體、玻璃及光電子材料、金屬等片狀硬脆材料的高精度雙面拋光，適用于5 （ 125mm）以下及同尺寸規(guī)格異型平行平面的雙面高精度拋光。主要特點(diǎn)：1． 該機(jī)采用四動(dòng)拋光原理：三電機(jī)分別拖動(dòng)上下拋盤、太陽輪、內(nèi)齒圈；PLC調(diào)整設(shè)定控制；彩色NT顯示的人機(jī)界面系統(tǒng)。2． 整機(jī)采用龍門箱形結(jié)構(gòu)，剛性好。3． 與拋光液接觸的零部件盡可能的選用了防腐材料或表面進(jìn)行了特殊處理。4． 通過精密稱重傳感器與高精密的氣動(dòng)控制系統(tǒng)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，確保了工件壓力的準(zhǔn)確性。5． 主要運(yùn)動(dòng)副采用了強(qiáng)制集中潤滑。6． 拋光液系統(tǒng)具有獨(dú)立攪拌、循環(huán)水冷卻、拋光液加熱以及拋光液溫度監(jiān)測(cè)功能,P各功能可選配制作。主要技術(shù)參數(shù)：1. 拋光盤尺寸： 1112mm 380mm 50mm2. 游輪參數(shù)： 公制Z=212 M=2英制Z=200 DP123. 游輪數(shù)量：5個(gè)4. 最小拋光厚度：硅0.45mm/ 125mm5. 最大拋厚度規(guī)格： 25mm6. 下拋盤轉(zhuǎn)速：0~60rpm7. 上下拋光盤拖動(dòng)電機(jī)： 15KW 380V 1440rpm8. 太陽輪拖動(dòng)電機(jī)： 2.2KW 380V 1390rpm9. 內(nèi)齒圈拖動(dòng)電機(jī)： 2.2KW 380V 1390rpm10. 需配備空氣源壓力： 0.5~0.6Mpa11. 設(shè)備外形尺寸（長 寬 高）：2450mm 1500mm 2953mm12. 質(zhì)量： 約4500㎏主機(jī)精度：1．下拋光盤端跳： 0.06mm2．上下拋光盤平面度： 0.02mm3.太陽輪徑向跳動(dòng)： 0.08mm4．齒圈徑向跳動(dòng)： 0.15mm加工能力：1. 單片承片量：17片/ 75mm 8片/ 100mm 5片/ 125mm2. 整盤承片量：85片/ 75㎜ 40片/ 100㎜ 25片/ 125㎜