壓力傳感器設(shè)計(jì)生產(chǎn)制造工藝應(yīng)用技術(shù)專利大全01、一種電阻式壓力傳感器用力學(xué)敏感材料的制備方法 02、深海壓力傳感器及其應(yīng)用 03、高性能光纖壓力傳感器 04、壓力傳感器與電磁閥一體成型的裝配結(jié)構(gòu) 05、單片硅基SOI高溫低漂移壓力傳感器 06、壓力傳感器 07、玻璃襯底和使用了該玻璃襯底的靜電電容式壓力傳感器 08、超高壓動(dòng)態(tài)壓力傳感器 09、高量程高過載高溫壓力傳感器 10、具有整體溫度傳感器的壓力傳感器 11、一種改良耐高溫微型低成本壓力傳感器的方法 12、MEMS壓力傳感器芯片級(jí)老化裝置 13、壓力傳感器 14、差動(dòng)壓力傳感器 15、具有隔膜的壓力傳感器 16、具有壓敏金屬膜片的壓力傳感器 17、容納在殼體中的壓力傳感器 18、光纖微電子
機(jī)械系統(tǒng)壓力傳感器及其復(fù)用結(jié)構(gòu) 19、一種微型壓力傳感器及其制備方法 20、提高單梁結(jié)構(gòu)微機(jī)械諧振壓力傳感器激勵(lì)性能的方法 21、具有安裝在公共管座上的傳感器芯片和信號(hào)處理電路的壓力傳感器 22、一種傳感器、特別是具有傳感器固定裝置的壓力傳感器 23、帶壓力傳感器的微型化學(xué)推進(jìn)器 24、缸壓力傳感器及相關(guān)方法 25、電容式壓力傳感器 26、光纖微機(jī)電系統(tǒng)壓力傳感器及其制作方法 27、多層結(jié)構(gòu)鍵合密封保護(hù)式電容壓力傳感器及制造方法 28、包括相對(duì)于測(cè)量區(qū)的密封的傳感器,特別是壓力傳感器 29、一種帶壓力傳感器的點(diǎn)焊機(jī)機(jī)頭 30、半導(dǎo)體壓力傳感器 31、具有帶凸起金屬膜片的壓力傳感器 32、具有溫度傳感器的壓力傳感器裝置 33、碳納米管壓力傳感器及其壓力感測(cè)方法 34、在所測(cè)量的壓力和參考室之間的壓力均衡減少的硅壓力傳感器 35、具有隔膜的半導(dǎo)體壓力傳感器 36、包括壓力傳感器的燃料量控制系統(tǒng) 37、半導(dǎo)體壓力傳感器及其制造方法 38、壓力傳感器、物體檢測(cè)設(shè)備、開/關(guān)設(shè)備及制造壓力傳感器的方法 39、探針式組合壓力傳感器 40、內(nèi)燃機(jī)所用的燃燒室壓力傳感器 41、包括具有微結(jié)構(gòu)表面的彈性傳感器層的壓力傳感器 42、錳銅-康銅復(fù)合拉氏壓力傳感器及其制造方法 43、壓電激勵(lì)振動(dòng)筒壓力傳感器 44、磁激勵(lì)振動(dòng)筒壓力傳感器 45、一種微型動(dòng)態(tài)壓阻壓力傳感器及其制造方法 46、測(cè)定液壓壓力的壓力傳感器 47、包含壓力傳感器的旋涂方法以及用于旋涂的設(shè)備 48、電容式壓力傳感器 49、一種陣列化錳銅薄膜超高壓力傳感器及制備方法 50、耐高溫石油井下動(dòng)態(tài)壓力傳感器 51、固態(tài)壓阻式耐高溫壓力傳感器及其制備方法 52、在放大器反饋路徑中包括電容式壓力傳感器的壓力測(cè)量設(shè)備 53、電子式車用機(jī)油壓力傳感器 54、電容式半導(dǎo)體壓力傳感器 55、相變式自檢測(cè)壓力傳感器及其制作方法 56、多層膜電容式壓力傳感器 57、壓力傳感器的裝配結(jié)構(gòu)及裝配方法 58、檢測(cè)內(nèi)燃機(jī)中有故障的壓力傳感器的方法、控制裝置和計(jì)算機(jī)程序 59、薄膜類型的半導(dǎo)體壓力傳感器 60、絕對(duì)壓力型壓力傳感器 61、靜電電容式壓力傳感器及其制造方法 62、具有耐蝕膜片的壓力傳感器 63、過程變送器及用于將工作壓力聯(lián)接到壓力傳感器的方法 64、壓力傳感器及其制造方法 65、MEMS壓阻式壓力傳感器芯片及其制備方法 66、具有至少兩壓力傳感器的碰撞感應(yīng)裝置 67、納米碳基薄膜場(chǎng)發(fā)射壓力傳感器 68、帶有徑向張緊的金屬隔膜的壓力傳感器 69、具有疏水涂層的壓力傳感器 70、采用水平極化聲波模式的諧振式水晶壓力傳感器 71、高精度鋼弦式孔隙水壓力傳感器 72、壓力傳感器、壓力控制裝置及壓力式流量控制裝置的溫度漂移修正裝置 73、集成溫濕度大氣壓力傳感器芯片 74、一種梁膜分體結(jié)構(gòu)諧振梁壓力傳感器 75、梁膜一體結(jié)構(gòu)諧振梁壓力傳感器芯片及制造方法 76、旋轉(zhuǎn)壓機(jī)壓力傳感器安裝結(jié)構(gòu)組件 77、壓力傳感器和壓力測(cè)定裝置 78、具有長期穩(wěn)定性的高靈敏度壓力傳感器 79、靜電鍵合密封電容腔體的壓力傳感器及其制作工藝 80、一種帶有壓力傳感器的控制單元 81、具有密封抽吸壓力傳感器的制冷循環(huán)系統(tǒng)的控制方法 82、高溫應(yīng)變納米膜壓力傳感器 83、壓力傳感器及其裝配方法 84、表面微型機(jī)械加工的絕對(duì)壓力傳感器及其制造方法 85、集成MOS力敏運(yùn)放壓力傳感器用的力敏運(yùn)算放大器器件 86、基于讀取頭電阻的現(xiàn)場(chǎng)壓力傳感器及壓力檢測(cè)方法 87、壓力傳感器和生產(chǎn)壓力傳感器的方法 88、光纖耦合裝置、波長可變器、壓力傳感器、加速度傳感器以及光學(xué)裝置 89、耐高溫壓力傳感器 90、以SiNx為梁的微結(jié)構(gòu)諧振梁壓力傳感器制造方法 91、全SiNx微結(jié)構(gòu)諧振梁壓力傳感器 92、電容式壓力傳感器及其制造方法 93、薄膜式錳銅超高壓力傳感器 94、有金鍺隔離銅焊接頭的藍(lán)寶石壓力傳感器梁架 95、一種壓力傳感器及其平面復(fù)合差動(dòng)方法 96、碰撞傳感器和碰撞壓力傳感器 97、碰撞傳感器和碰撞壓力傳感器 98、高精度壓力傳感器 99、陶瓷壓力傳感器及差壓傳感器 100、相對(duì)壓力傳感器 101、感應(yīng)壓力傳感器 102、絕緣體上的硅高溫超高壓力傳感器的制作方法 103、高溫壓力傳感器芯片的制作方法 104、布拉格光柵壓力傳感器 105、半導(dǎo)體壓力傳感器及其制造方法