SMX-BEN臺式X射線熒光光譜薄膜成分、薄膜厚度測量系統(tǒng)產品特色∶1.針對薄膜太陽能電池生產過程研發(fā)、工藝開發(fā)、失效分析過程而設計，有效減低成本，提供產品品質。2.超大樣品室，高：56厘米、寬：54厘米、長：74厘米。3.針對CIGS各種鍍層材質的第一濾波器，共5種4.樣品臺X-Y-Z三軸自動定位，移動范圍20x20x15cm，帶防撞保護、自動聚焦、LED燈照明功能。5.微聚焦、帶鈹窗、高性能X射線源6.采用最新高科技的高靈敏度的硅PIN檢測器，靈敏度高，壽命長。7.配多規(guī)格圓形及矩形電機驅動定位準直器8.輻射安全保護裝置9.MiraXRF軟件系統(tǒng)功能強大，具備數(shù)據(jù)分析、傳輸及以太網(wǎng)功能SMX-BEN屬高階的薄膜太陽能電池分析儀薄膜太陽能電池CIGS/CdTe分析儀可分析范圍：(1)分析CIGS各鍍層的厚度及成份同時測量。(2)分析CdTe之各鍍層的厚度及成份同時測量。(3)三、五族元素各鍍層的成分比例及厚度分析技術參數(shù)最大50kV，多段電壓切換4-1000μA，可做自動調整設定共五個濾波器，自動切換電冷式偵測器