1、適用性廣泛 可制備金屬、非金屬、陶瓷、礦物、半導體、骨骼、牙齒等幾乎所有固體材料。 2、樣品干凈，使得從樣品中提取的信息真實可靠。 3、操作簡便、過程可控。 4、對環(huán)境無污染。 技術參數(shù) 一、工作條件： 1、工作溫度：10℃～40℃ 2、濕度： 3、電源電壓：220V（±10%）單相，50HZ（±1） 4、總功率：2KW 5、儀器運行的持久性：可連續(xù)運行。 二、技術參數(shù)： 1、離子加速電壓：0～10KV±3%（連續(xù)可調(diào)） 2、減薄速度：≥30μm/h(銅樣品) 3、真空系統(tǒng)： 低真空為機械泵（進口泵）真空度優(yōu)于5Pa 高真空為擴散泵真空度＜5×10-3Pa（沒有通氬氣） 4、試樣臺： 4．1薄軸承式試樣臺：減薄過程中對離子束無遮擋 4．2轉數(shù)：2轉/分鐘 4．3試樣臺對離子束傾角：7°（標準臺）2°（拋光臺） 5、制樣過程監(jiān)視：采用聚焦光源可直接觀察，無需加裝光學系統(tǒng) 6、安全防護系統(tǒng)： 6.1、觀察窗自動防污染系統(tǒng) 6.2、防誤操作保護系統(tǒng)